壓電式加速度傳感器的靈敏度
壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計(jì)。它也屬于慣性式傳感器。它是利用某些物質(zhì)如石英晶體的壓電效應(yīng),在加速度計(jì)受振時(shí),質(zhì)量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當(dāng)被測(cè)振動(dòng)頻率遠(yuǎn)低于加速度計(jì)的固有頻率時(shí),則力的變化與被測(cè)加速度成正比。
壓電加速度計(jì)屬發(fā)電型傳感器,可把它看成電壓源或電荷源,故靈敏度有電壓靈敏度和電荷靈敏度兩種表示方法。前者是加速度計(jì)輸出電壓與所承受加速度之比;后者是加速度計(jì)輸出電荷與所承受加速度之比。加速度單位為m/s2,但在振動(dòng)測(cè)量中往往用標(biāo)準(zhǔn)重力加速度g作單位,1g=9.80665m/s2。這是一種已為大家所接受的表示方式,幾乎所有測(cè)振儀器都用g作為加速度單位并在儀器的板面上和說明書中標(biāo)出。
對(duì)給定的壓電材料而言,靈敏度隨質(zhì)量塊的增大或壓電元件的增多而增大。一般來說,加速度計(jì)尺寸越大,其固有頻率越低。因此選用加速度計(jì)時(shí)應(yīng)當(dāng)權(quán)衡靈敏度和結(jié)構(gòu)尺寸、附加質(zhì)量的影響和頻率響應(yīng)特性之間的利弊。
壓電晶體加速度計(jì)的橫向靈敏度表示它對(duì)橫向(垂直于加速度計(jì)軸線)振動(dòng)的敏感程度,橫向靈敏度常以主靈敏度(即加速度計(jì)的電壓靈敏度或電荷靈敏度)的百分比表示。一般在殼體上用小紅點(diǎn)標(biāo)出最小橫向靈敏度方向,一個(gè)優(yōu)良的加速度計(jì)的橫向靈敏度應(yīng)小于主靈敏度的3%。因此,壓電式加速度計(jì)在測(cè)試時(shí)具有明顯的方向性。